弾性表面波モータの摩擦駆動面設計(一般/アコースティックイメージング)
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概要
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弾性表面波モータの実用化を見据え,安定性・耐久性に優れた摩擦駆動面の設計指針を示した。不安定要因としてスライダのステータへの吸着現象がある。これはステータ材料ニオブ酸リチウム(LN)の焦電性と低い導電率が原因で発生する摩擦帯電が原因であることを特定した。そして導電性を向上させた還元処理LNをステータに用いることで,摩擦帯電を取り除くことが出来ることを示した。耐久性における最大の課題は,摩擦駆動の結果生じるステータ表面のシビア摩耗(表面損傷)である。LNは化学的に不活性な材料であるため,この表面損傷は,スライダ表面に設けられた円筒状突起が,押し込まれたり滑りが生じたときに発生する高い応力により発生している。突起形状は角の尖った円筒状であるため,とくに角部分での応力が大きくなっており,この角を丸めることで最大応力を大きく減じることが出来る。角を丸める手法としては,積極的に摩耗をさせる手法を提案した。さらには,摩擦駆動により発生する応力を最小化する,耐久性に優れた最適なスライダ形状は,突起をなくした平面形状であることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-02-21
著者
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