212 弾性表面波モータの微小駆動特性(オーガナイズドセッション : O.S.1 音響エネルギー利用II)
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概要
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This paper describes stepping drive of a surface acoustic wave (SAW) motor at nano meter order. The step size was defined as a driven distance of friction drive. The step size depended on number of driving wave, driving voltage, and pre-load, in experiment. By changing number of the driving waves, while driving voltage and pre-load were constant, 2nm stepping drive was measured as the finest stepping size of the experimental setup. The vibration model of the movable part is proposed. A possibility of sub-nano meter order stepping drive is pointed out from the vibration model. For sub-nano meter order stepping drive, rigid structure is required for the movable part which doesn't cause elastic deformations during stepping drive.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-06-05
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