A-11-8 水熱合成法PZT薄膜を用いたプローブセンサの形状測定
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-08-20
著者
-
樋口 俊郎
東京大学大学院工学研究科
-
黒澤 実
東京工業大学
-
神田 岳文
東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
-
樋口 俊郎
東京大学
-
佐々木 美沙都
KDDI研究所
-
神田 岳文
東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻
-
佐々木 美沙都
東京工業大学
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