弾性表面波モータの動作の安定化・高出力化および効率改善について(強力超音波)

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概要

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ナノメートルオーダーの振動を用いて動作させる弾性表面波モータにおいては,装置の構造が動作の安定性に大きな影響を及ぼす。今回新たに改良を加えた実験装置により,いくつかの新しいデバイスに関して動作特性を評価した。その結果,摩擦駆動面にセラミックス膜処理を施すことが特性向上に有効であることを確認した。現在のところ最大速度1.5m/s,最大推力11Nなどを得ている。微小移動特性としては,1 nm以下のステップを実現している。また,効率を改善するための試みとしてエネルギー環流駆動用デバイスを種々検討し,駆動電力10Wに対して環流電力50Wを得た。モータとしての動作特性についても測定を行った。
社団法人電子情報通信学会の論文
2003-12-11

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