弾性表面波モータの摩擦駆動面における弾性変形の影響
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概要
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弾性表面波デバイスを用いて摩擦駆動を行う弾性表面波モータは, 小型・薄型で将来非常に有望なマイクロモータとして期待される。このスライダには, ステータ素子との接触状態を制御し良好に保つために, 表面に微小な突起を持つ, シリコンデバイスが用いられている。突起寸法とその配置密度の状態により, ステータの弾性変形量が変わり, モータの特性が変化する。今回, 弾性変形量を静的に有限要素法解析し, 動作特性との関係を検討した。その結果, 振動振幅の1〜1.5倍程度の静的な弾性変形を与える予圧のとき, 推力が最大となるという結果を得た。また最大推力として, これまでの最大値となる10Nを得た。
- 2002-01-17
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