V-shape 2Bolt Clamped Langevin type Transducer Ultrasonic Linear Motor
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概要
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ランジュバン振動子を直角に組み合わせた超音波モータの構造および構成要素について詳細に検討し、比較的低電圧で駆動できる超音波モータを作成した。FEM解析と実験により、Head Block先端の重量を変更することで、対称および非対称の共振周波数を一致させることができることがわかった。圧電素子に積層スタック型を用いることによって駆動電圧を低電圧化し、速度は60Vで1.5m/sec、80Vで2m/secを超える値が得られた。しかし100mm/sec以下の比較的低速が安定して得られなかった。「慣性駆動」によって、1mm/sec以下の超低速駆動ができることがわかった。また、DC電圧駆動による微少位置決めも可能であり、分解能は1.5nmが観測された。
- 2006-12-14
著者
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