水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの分解能に関する検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
我々は、水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を圧電アクチュエータや、超音波トランスデューサへの応用を目的として研究を行ってきた.水熱合成法で成膜したPZTには曲面や微細な形状のチタン上に成膜可能や広帯域な周波数特性を有するなどの特徴がある.本研究では、水熱合成法によるPZTを超音波プローブの振動子に用いることで、広帯域な周波数特性を有する小型超音波プローブを作製すること目的としている.今回は、小型超音波プローブの作製方法と送受信特性の評価、距離分解能、方位分解能を測定したので、その結果について報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-07-10
著者
-
黒澤 実
東京工業大学
-
石河 睦生
東京工業大学
-
竹内 真一
桐蔭横浜大学医用工学専攻
-
黒澤 実
東工大総理工
-
黒澤 実
東大・工
-
黒澤 実
東京工業大学総合理工学研究科
-
長谷川 智仁
東京工業大学物理情報システム専攻
-
竹内 真一
桐蔭横浜大学・工学部・医用工学科
-
石河 睦生
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
長谷川 智仁
東京工業大学総合理工学研究科
-
黒澤 実
東京工業大学 総合理工学研究科
-
竹内 真一
桐蔭横浜大学
関連論文
- KNbO_3エピタキシャル膜の製膜と圧電特性の評価
- チタン箔に水熱合成PZTを成膜した小型メンブレン型ハイドロホンの試作
- 弾性表面波モータ(最近の超音波モータの研究とその動向)
- 小特集「最近の超音波モータの研究とその動向」にあたって(最近の超音波モータの研究とその動向)
- 弾性表面波リニアモータの高出力化の検討
- 2P5-1 VHF帯超音波イメージングを目的としたKNbO_3配向制御膜トランスデューサ(ポスターセッション)
- 1J1-3 水熱合成法によるKNbO_3エピタキシャル膜の作製と特性評価(超音波物性・材料・フォノン物理)
- 円筒型マイクロ超音波モータ
- PZT薄膜による縦振動子を用いた振動形プローブセンサ
- 2P7b-6 水熱合成法によるPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの指向性に対するエッジモード共振の影響(ポスターセッション)
- 水熱合成PZTを成膜したテーパー型チタンワイヤを用いてバックエコーを抑圧したハイドロホンの基礎検討
- 2P5-6 受音面にチタン箔を使用した強力超音波測定用水熱合成PZTハイドロホンの開発(ポスターセッション)
- PZT膜を用いたマイクロ超音波メス用振動子の振動速度向上
- 水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの分解能に関する検討
- 水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの特性評価
- 弾性表面波モータの動的特性のモデル化(強力超音波)
- 3J8-1 V型超音波モータを用いた高速高分解能ステージ(強力超音波)
- 2P2a-17 線形周期変調信号を用いたパルス圧縮とドップラーシフト補正による高精度距離計測(ポスターセッション)
- 2P1-5 分極処理が水熱合成PZT多結晶膜の特性におよぼす影響(ポスターセッション)
- 弾性接触モデルによる弾性表面波モータの摩擦駆動解析
- テーパー状Tiワイヤの端面に水熱合成PZTを成膜したニードル型ハイドロホンの試作
- 弾性表面波モータの電力密度と機械出力(強力超音波,音響関連新技術 音響技術でできること)
- 水熱合成PZT膜を用いた音響キャビテーションセンサの基礎検討
- 水熱合成法を用いて試作したキャビテーションセンサおよびこれを用いた基礎実験
- 水熱合成PZT薄膜振動子の高振幅動作特性
- 水熱法PZT薄膜の高電界駆動特性評価
- A-11-1 水熱合成PZT多結晶膜を用いた医用超音波センサの研究(A.11.超音波,一般セッション)
- 水熱合成PZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの特性評価
- 水熱合成法を用いた小型ニードル形ハイドロフォンの試作
- 水熱合成法を用いた小型ニードル形ハイドロフォンの試作
- ロングストローク弾性表面波リニアモータの駆動特性
- 水熱合成PZT多結晶膜を用いた1次元アレイ超音波プローブの開発
- 水熱PZT多結晶膜を用いた一次元アレイ超音波プローブに関する基礎研究 : 多結晶膜振動子の配列化と受信波形の確認
- 水熱PZT多結晶膜を用いた一次元アレイ超音波プローブに関する基礎研究 : 多結晶膜振動子の配列化と受信波形の確認
- 水熱合成PZT多結晶膜を用いた超広帯域超音波トランスデューサ : 成膜条件の最適化へ向けて
- 水熱合成PZT多結晶膜を用いた1-40MHz帯超音波トランスデューサ
- 水熱合成PZT多結晶膜を用いた1-40MHz帯超音波トランスデューサ
- 水熱合成PZT多結晶膜を用いたMHz帯超音波トランスデューサ
- ハイドロホンへの応用を目的としたチタンワイヤへの水熱合成法によるPZT圧電膜の成膜
- P3-H-35 水熱合成法により成膜したPZT圧電膜を用いた超音波センサの水中における受波感度(水中音波,ポスターセッション3(概要講演))
- 1J-7 等価回路を用いた水熱合成PZT膜とTi前面板を有する堅牢ハイドロホンの特性解析(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
- 1J-8 Tiパイプを用いた水熱合成PZTキャビテーションセンサの有効性の音響化学的評価(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
- A-11-2 チタンパイプ外側面に水熱合成PZT多結晶膜を用いた堅牢なキャビテーションセンサによる測定データの音響化学的評価(A-11.超音波,一般セッション)
- AS-2-6 2波の線形周期変調信号を用いた超音波距離・速度計測におけるドップラーシフト補償の距離精度に関する検討(AS-2.アコースティックイメージング技術の新展開,シンポジウムセッション)
- A-11-5 水熱合成法によるPZT薄膜を用いた超音波振動子における振動速度限界
- ランジュバン振動子を2個使用したV型超音波モータの低速制御性の改善
- 不感帯を考慮した環流型弾性表面波モータの速度制御(第15回MAGDAコンファレンス)
- 3-09P-45 弾性接触解析による弾性表面波モータの摩擦駆動解析(ポスターセッション 3)
- 弾性表面波モータの摩擦駆動面設計(一般/アコースティックイメージング)
- 不感帯を考慮した弾性表面波モータのフィードバック制御
- 弾性表面波モータのビームステアリングへの応用(一般・材料)
- 弾性表面波モータの動作の安定化・高出力化および効率改善について(強力超音波)
- A-11-1 弾性表面波モータの動作分解能決定要因の実験的検討
- 微小駆動時における弾性表面波モータのメカニクス
- SA-4-6 弾性表面波モータのステップ駆動モデリング
- A-11-7 弾性表面波モータのナノメートルステップ駆動
- 212 弾性表面波モータの微小駆動特性(オーガナイズドセッション : O.S.1 音響エネルギー利用II)
- 先鋭化ファイバーを接着した水熱合成法PZT膜プローブセンサ
- SA-5-4 水熱合成法によるPZT薄膜を用いたスマートマイクロメスの研究
- 水熱合成法によるPZT薄膜を用いたスマートマイクロメスの研究
- A-1-15 ΔΣ変調を用いたキャリア変調方式PWM変換の検討(A-1. 回路とシステム,一般セッション)
- 1ビット信号処理による相互相関処理を用いた超音波距離計測実験(アコースティックイメージング,一般)
- A-4-23 ΔΣ変調を用いた小規模高精度エンコーダ内挿器の検討(A-4.信号処理,一般講演)
- A-4-27 オーバーサンプリングとΔΣ変調を用いた追従型内挿器の一構成法(A-4.信号処理,一般講演)
- A-1-10 高精度・低歪み自励型PWM変換器の検討(A-1. 回路とシステム, 基礎・境界)
- A-1-19 △Σ変調による小規模かつ高性能なディジタル周波数合成法(A-1. 回路とシステム)
- A-1-2 ΔΣ変調による1ビットディジタル信号の乗算手法
- V-shape 2Bolt Clamped Langevin type Transducer Ultrasonic Linear Motor
- 周期的に配置された円柱状突起による接触を考慮した弾性表面波モータの摩擦駆動モデル(超音波)
- 弾性表面波モータの摩擦駆動面における弾性変形の影響
- 弾性表面波モータの摩擦駆動面における弾性変形の影響
- 進行波型超音波モータの効率
- 複合振動を用いたマイクロスマートメス
- SA-6-2 水熱合成PZT膜を用いた縦・たわみ結合モード型超音波マイクロメス(SA-6. 薄膜技術を利用した最近の弾性波デバイス)
- A-11-2 切り欠きのある超音波マイクロメスの破砕効果
- 弾性表面波モータ
- 超音波リニアモータ用振動子とその大口径モータへの応用
- 弾性表面波モータ
- A-11-8 水熱合成法PZT薄膜を用いたプローブセンサの形状測定
- 高分解能・広計測範囲のドップラー速度計測と低演算コストのドップラーシフト補償による超音波距離・速度計測手法
- 圧電マイクロアクチュエータ
- 弾性表面波モータ
- 弾性表面波モータ
- 変形段付きホーン形マイクロ超音波メスの試作と評価
- A-11-1 Tiパイプの外側面に水熱合成PZT多結晶膜を成膜したキャビテーションセンサの基本特性の検討(A-11.超音波,一般セッション)
- A-11-2 一次元音響伝送線路等価回路を用いた耐キャビテーション・ハイドロホンの動作特性解析(A-11.超音波,一般セッション)
- 水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの特性評価
- 弾性表面波リニアモータの長ストローク化
- 弾性表面波リニアモーターの長ストローク化に関する研究
- 摩擦駆動モデルを用いた弾性表面波モータの駆動性能評価(超音波)
- エネルギー環流弾性表面波モータ
- 弾性表面波モータの摩擦駆動モデル
- SA-5-3 スライダ接触圧力を均一化した弾性表面波モータの駆動特性
- SA-5-2 エネルギー環流弾性表面波モータの連続駆動の試み
- Ti製受音膜裏面に水熱合成PZT多結晶膜を成膜した堅牢ハイドロホンの特性改善のための検討(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
- F1101(5) 超精密ナノアクチュエータの最前線([F1101]ブレイクスルーを産み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
- 弾性表面波アクチュエータ
- 弾性表面波モータの省電力化手法
- 211 長ストローク弾性表面波リニアモータの開発(アクチュエータ)
- 弾性表面波リニアモータの小型化に関する研究