水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの特性評価
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概要
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Two types of transducers for small ultrasound probes were fabricated. Titanium or epoxy resin were used for the backing material of the transducers. The piezoelectric material was lead zirconate titanate (PZT) that was deposited by the hydrothermal method. These transducers were built into a small ultrasound probe and the characteristics were evaluated. As a result, we succeeded in the fabrication of a wideband ultrasound probe with a distance resolution of 16μm, a frequency bandwidth of 69MHz in the range of 39 to 98MHz, and a fractional bandwidth of 86% at the epoxy resin backing probe.
著者
-
黒澤 実
東京工業大学
-
石河 睦生
東京工業大学
-
黒澤 実
東大・工
-
黒澤 実
東京工業大学総合理工学研究科
-
長谷川 智仁
東京工業大学物理情報システム専攻
-
竹内 真一
桐蔭横浜大学・工学部・医用工学科
-
石河 睦生
東京工業大学大学院総合理工学研究科
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