PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第5報) : プローブセンサを用いた表面形状の測定
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-03-01
著者
-
森田 剛
理研
-
森田 剛
東京大学大学院新領域創成科学研究科
-
黒澤 実
東工大総理工
-
神田 岳文
東大工
-
樋口 俊郎
東大工
-
神田 岳文
岡山大学 工学部 システム工学科
-
森田 剛
東京大学
-
森田 剛
東大
関連論文
- PLZTの光透過率メモリスイッチの基礎的検討(物性,一般)
- KNbO_3エピタキシャル膜の製膜と圧電特性の評価
- チタン箔に水熱合成PZTを成膜した小型メンブレン型ハイドロホンの試作
- 水熱合成粉末を用いた(K,Na)NbO_3セラミックスの圧電効果(物性,一般)
- 3 生物模倣型水中ロボットのための弾性体胸鰭アクチュエータ
- 弾性表面波モータ(最近の超音波モータの研究とその動向)
- 小特集「最近の超音波モータの研究とその動向」にあたって(最近の超音波モータの研究とその動向)
- 微小孔板とねじり振動子によるエマルション生成
- SIDMを用いたパラレルリンク機構
- 2P5-1 VHF帯超音波イメージングを目的としたKNbO_3配向制御膜トランスデューサ(ポスターセッション)
- 超音波アシスト水熱合成法による圧電材料の合成
- 1J1-3 水熱合成法によるKNbO_3エピタキシャル膜の作製と特性評価(超音波物性・材料・フォノン物理)
- 水熱合成粉末によるニオブ酸カリウムセラミックスの圧電特性
- 2-01-02 水熱法を用いたニオブ酸カリウムセラミックスの合成(超音波物性・材料・フォノン物理)
- 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ : 第二報:モータの小型化と特性評価(アクチュエータの機構と制御1)
- 1A1-1F-F6 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ
- 水熱法PZT薄膜を用いた加振形プローブセンサ
- OE05 PZT薄膜を用いた形状測定用加振形プローブセンサの設計と評価(バルク波デバイス)
- SA-5-6 PZT薄膜を用いた縦振動プローブ接触センサの分解能
- PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第6報) : プローブセンサの測定力と分析
- PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第5報) : プローブセンサを用いた表面形状の測定
- 円筒型マイクロ超音波モータ
- PZT薄膜を用いた加振形接触セソサ(第4報)-検出感度, 分解能の測定-
- PZT薄膜による縦振動子を用いた振動形プローブセンサ
- PZT薄膜を用いたディスク型小型超音波モータの試作
- PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第6報) -さらなる小型化に向けて-
- PF7 バルクPZTを用いた円筒型マイクロ超音波モータ(強力超音波,ポスターセッション1)
- 2P7b-6 水熱合成法によるPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの指向性に対するエッジモード共振の影響(ポスターセッション)
- 2-08P-39 水熱合成PZTを用いたテーパー構造を有するニードル方ハイドロホンの試作(ポスターセッション 2)
- 2P5-6 受音面にチタン箔を使用した強力超音波測定用水熱合成PZTハイドロホンの開発(ポスターセッション)
- PZT膜を用いたマイクロ超音波メス用振動子の振動速度向上
- 水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの分解能に関する検討
- 水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの特性評価
- 弾性表面波モータの動的特性のモデル化(強力超音波)
- 3J8-1 V型超音波モータを用いた高速高分解能ステージ(強力超音波)
- 2P2a-17 線形周期変調信号を用いたパルス圧縮とドップラーシフト補正による高精度距離計測(ポスターセッション)
- 423 精密切削を利用した骨組織の3次元微視構造観察とミネラル分布測定(OS6-3:硬組織のバイオメカニクス(3),OS6:硬組織のバイオメカニクス)
- 水熱法PZT薄膜の高電界駆動特性評価
- PZT薄膜を用いた補聴器用イヤホンの検討
- 2245 微小液滴の静電搬送を利用したマイクロ化学リアクタ
- 2244 マイクロチャンネルにおける微小液滴生成
- A-11-1 水熱合成PZT多結晶膜を用いた医用超音波センサの研究(A.11.超音波,一般セッション)
- 1P4-13 超音波振動とマイクロ流路によるエマルション生成デバイス(ポスターセッション)
- C06 ペースト状有機材料を用いた光導波路一体型光駆動SMAアクチュエータ(OS6 次世代アクチュエータとその応用システム)
- 3202 扇形圧電振動子を用いた薄型マイクロ超音波モータの駆動特性の解析と評価(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1315 圧電高分子柔軟センサによる大変形ソフトアクチュエータの変位検出(インテリジェントアクチュエータ,一般講演)
- F07(2) 狭隘空間用アクチュエータ(【F07】ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ)
- 小型超高圧油圧アクチュエータを用いたレスキューロボットの開発とその可能性検証試験
- 螺旋状層流界面形成マイクロロータリーリアクタの開発
- P3-58 扇形圧電振動子を用いたインホイール型マイクロ超音波モータ(ポスター発表)
- P1-42 水熱合成法を用いた微小ニードル形ハイドロフォンの開発 : 受音部構造と指向性の関係(ポスターセッション1(概要講演))
- P3-17 水熱合成法における圧電多結晶膜の成膜プロセスに関するの基礎検討 : 過酸化水素を用いたTi基板表面処理が圧電多結晶膜の特性に及ぼす影響(ポスターセッション3(概要講演))
- P1-25 水熱合成PZT多結晶膜を用いた1-20MHz帯超音波トランスデューサ(ポスターセッション1(概要講演))
- P2-C-19 酸化チタンを用いた水熱合成法によるPZT膜の作製と振動特性に関する検討(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション2(概要講演))
- 独創的超音波技術の開拓(グラビアとインタビュー精密工学の最前線)
- 1J-7 等価回路を用いた水熱合成PZT膜とTi前面板を有する堅牢ハイドロホンの特性解析(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
- PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第10報) : 表面形状測定画像と接触状態
- PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第9報) : センサ感度、測定力のシミュレーション
- 1J-8 Tiパイプを用いた水熱合成PZTキャビテーションセンサの有効性の音響化学的評価(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
- A-11-2 チタンパイプ外側面に水熱合成PZT多結晶膜を用いた堅牢なキャビテーションセンサによる測定データの音響化学的評価(A-11.超音波,一般セッション)
- 超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の摩擦材の検討
- QG05 超音波振動子を利用した超高真空対応回転導入機の試作(ポスターセッションII)
- 超音波振動子を利用した超高真空対応回転導入機構
- AS-2-6 2波の線形周期変調信号を用いた超音波距離・速度計測におけるドップラーシフト補償の距離精度に関する検討(AS-2.アコースティックイメージング技術の新展開,シンポジウムセッション)
- 415 中間赤外分光用イマージョングレーティングのためのマイクロ研削加工
- 東京大学大学院新領域創成科学研究科人間環境学専攻 情報マイクロシステム分野
- 圧電材料の基礎と応用
- 1J-5 超音波アシスト水熱合成法による圧電材料の合成とその評価(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
- 100MHz駆動による小型化弾性表面波モータ
- 弾性表面波モータの駆動特性に及ぼすセラミックコーティング薄膜の影響
- 1ビット信号処理による相互相関処理を用いた超音波距離計測実験(アコースティックイメージング,一般)
- A-4-23 ΔΣ変調を用いた小規模高精度エンコーダ内挿器の検討(A-4.信号処理,一般講演)
- 金型コーナー部のELID鏡面研削効果 : 第2報 : 加工精度の向上について
- 金型コーナー部のELID鏡面研削効果
- 弾性表面波モータ
- ギャップ制御型マイクロ浮上機構
- ギャップ制御を用いたマイクロ浮上機構の基礎的研究
- 永久磁石の運動制御法式による2自由度浮上機構における考察
- ギャップ制御型マイクロ浮上機構
- 誘電率検出によるセルフセンシング圧電アクチュエータ (特集 最近の超音波モータ・アクチュエータ)
- 高分解能・広計測範囲のドップラー速度計測と低演算コストのドップラーシフト補償による超音波距離・速度計測手法
- P1-6 水熱法によるPZT薄膜の作製 : 成膜条件と結晶成長および振動速度の関係(ポスターセッション1,ポスター発表)
- ニオブ酸リチウム積層アクチュエータ--ハイパワー振動子を目指して (特集:環境にやさしい非鉛系圧電材料--セラミックスを中心として)
- A-11-1 Tiパイプの外側面に水熱合成PZT多結晶膜を成膜したキャビテーションセンサの基本特性の検討(A-11.超音波,一般セッション)
- A-11-2 一次元音響伝送線路等価回路を用いた耐キャビテーション・ハイドロホンの動作特性解析(A-11.超音波,一般セッション)
- QG04 積層型ニオブ酸リチウムアクチュエータの試作(ポスターセッションII)
- F1101(5) 超精密ナノアクチュエータの最前線([F1101]ブレイクスルーを産み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
- 1J4-1 超音波アシスト水熱合成法のための高温対応振動子の開発(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
- 3Pb2-4 チャープ波を用いた実時間2次元超音波位置・速度計測に関する研究(ポスターセッション)
- 高次モード結合型ランジュバン振動子を用いた超音波ポンプ(強力超音波,一般)
- 水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの特性評価
- 変形段付きホーン形マイクロ超音波メスの試作と評価
- 水熱合成PZTを用いたキャビテーションセンサによるキャビテーションの空間分布計測
- 3J4-3 キャビテーションを伴う高強度音場測定用ハイドロホンの背板が受波特性に及ぼす影響(強力超音波,ソノケミストリー)
- 3Pa4-7 US診断装置によるキャビテーション分布の観測とキャビテーションセンサ適用範囲の検討(ポスターセッション)
- P11 強力超音波用ハイドロホンの開発 : 連続波駆動するソノリアクター内の音圧分布計測(ポスターセッション)
- A03 ソノリアクタ内のキャビテーションの空間分布測定 : チタンパイプおよび水熱合成PZT膜を用いたキャビテーションセンサによる測定(口頭発表)
- 1A2-F06 弾性表面波モータの高温環境における動作の可能性(超環境ロボット・メカトロニクス)
- チタン製前面板を有する堅牢型ハイドロホンの特性改善に関する検討 : 試作及び集束音場における非線形歪の測定(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
- チタン製中空円筒の外周面に水熱合成PZTを成膜したキャビテーションセンサの小型化に関する検討(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)