PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第9報) : センサ感度、測定力のシミュレーション

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概要

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• 2002-10-01

著者

• 黒澤 実

  東工大総理工

• 樋口 俊郎

  東大工

• 神田 岳文

  岡山大学 工学部 システム工学科

• 神田 岳文

  岡山大工

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