M5-1 水熱合成法を用いた圧電薄膜アクチュエータの紫外光駆動(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
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概要
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Light-driven actuators are effective for a miniaturization of micro devices because those actuators can be driven by non-contact energy supply. PLZT is a ferroelectric material which has a photostrictive effect. In this study, PLZT polycrystalline film has been deposited on a titanium substrate by using a hydrothermal method. In addition, the 2 types of actuators have been fabricated by depositing ITO transparent electrode on the surface of the PLZT film. One actuator has a square type electrode and the other has a comb type electrode. The displacement and electric current was evaluated when the actuators were driven by the ultraviolet light.
- 2009-10-15
著者
-
鈴森 康一
岡山大学大学院自然科学研究科産業創成工学専攻
-
神田 岳文
岡山大学大学院自然科学研究科産業創成工学専攻
-
神田 岳文
岡山大学 工学部 システム工学科
-
神田 岳文
岡山大
-
山口 大介
岡山大学
-
殿界 明真
岡山大学
-
鈴森 康一
岡山大学
-
神田 岳文
岡山大学
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