2A1-S-083 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ : 第3報:ロータの改良と小型化したモータの特性評価(アクチュエータの機構と制御4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

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