1A1-1F-F6 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ
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概要
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マイクロロボットに用いるサーボモータへの応用を目的として, マイクロ超音波モータの試作・評価を行った。直径0.8mmの円筒形の圧電振動子を用いて片端固定とし, 周波数330kHzでの回転駆動を実現した。
- 社団法人日本機械学会の論文
著者
-
鈴森 康一
岡山大学大学院自然科学研究科産業創成工学専攻
-
神田 岳文
岡山大学大学院自然科学研究科産業創成工学専攻
-
森田 剛
理研
-
森田 剛
東京大学大学院新領域創成科学研究科
-
森田 剛
東北大
-
黒澤 実
東工大総理工
-
小野 智久
岡山大
-
黒澤 実
東工大・総理工
-
鈴森 康一
岡山大
-
森田 剛
東京大学
-
神田 岳文
岡山大
-
森田 剛
東大
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