PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第2報) -分解能の向上と接触状態の分析-
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概要
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- 1997-10-01
著者
-
樋口 俊郎
東京大学
-
神田 岳文
岡山大学 工学部 システム工学科
-
森田 剛
東京大学
-
神田 岳文
東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻
-
黒澤 実
東京大学 工学系研究科 精密機械工学専攻
-
森田 剛
東大
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