P3-47 歪みゲージを用いた積層型圧電素子駆動の微動ステージ(ポスターセッション3,ポスター発表)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 2001-11-07

著者

• 古田 淳

  科学技術振興事業団精密微調機構プロジェクト

• 樋口 俊郎

  東京大学

• 宗片 睦夫

  科学技術振興事業団精密微調機構プロジェクト

• 樋口 俊郎

  東京大学精密機械工学

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