弾性表面波モータの駆動特性に及ぼすセラミックコーティング薄膜の影響

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概要

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• 2003-09-17

著者

• 黒澤 実

  東工大総理工

• 黒澤 実

  東工大・総理工

• 中村 勇太

  東工大

• 重松 隆史

  東京工業大学総合理工学研究科:(現)理化学研究所

• 浅井 勝彦

  松下電器産業株式会社

• 重松 隆史

  東工大

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