弾性表面波モータ用シリコンスライダにおける突起パラメータの最適化
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
高崎 正也
埼玉大
-
黒澤 実
東工大・総理工
-
樋口 俊郎
東大
-
高崎 正也
東京大学大学院
-
伊藤 秀徳
東京工業大学大学院総合理工学研究科電子機能システム専攻
-
浅井 勝彦
松下電器産業株式会社
-
伊藤 秀徳
東工大
-
高崎 正也
東大
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