21615 弾性表面波リニアモータの超低速駆動特性の改善(電磁力の制御,OS.1 実システムのモデリングと制御)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Surface acoustic wave (SAW) linear motor is a kind of ultrasonic motors. The advantages of the SAW linear motor is thin structure, high thrust force, high velocity and precise positioning. Relationship between applied voltage and output velocity, however, has non-linearity in a low-velocity area due to friction drive principle. Therefore the SAW linear motor cannot obtain stable driving without feedback control in the low-velocity area. Previously, to realize such low velocity, PWM control and flexible slider structure were employed. Flexible structure was installed to cancel vibration due to PWM carrier frequency. In this research, we change calculation algorithm for slider velocity measurement. As a result, SAW linear motor can be driven at a low velocity of 35μm/s. Additionally, driving characteristics is improved by using a feedforward controller.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-03-15
著者
-
高崎 正也
埼玉大学大学院理工学研究科
-
水野 毅
埼玉大学大学院理工学研究科
-
石野 裕二
埼玉大学総合研究機構
-
小谷 浩之
埼玉大
-
高崎 正也
埼玉大
-
水野 毅
埼玉大学
-
石野 裕二
埼玉大学
-
水野 毅
埼玉大
-
石野 裕二
埼玉大
関連論文
- 3自由度アクティブ制御型磁気支持ジャイロの開発(機械力学,計測,自動制御)
- 表面張力を利用したマイクロアセンブリ : 第2報,作動流体の検討(機械力学,計測,自動制御)
- 520 弾性表面波皮膚感覚ディスプレイにおける視覚情報と触覚情報の融合
- 表面張力を利用したマイクロアセンブリに関する研究 : 第1報,吸着の原理と基礎実験(D & D 2007)
- 424 表面張力を利用したマイクロアセンブリ : 第1報:原理と基礎実験
- セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第1報) : 摩擦駆動面への導入と駆動実験
- 剛性切り替え制御による磁気浮上系の高耐荷重化(機械力学,計測,自動制御)
- 多重磁気浮上システム : 第1報,基本構想と基本定理(機械力学,計測,自動制御)
- 並列多重磁気浮上システムの可観測性について
- 磁気浮上系の局所フィードバックによる剛性制御(機械力学,計測,自動制御)
- ステータの運動を考慮した磁気軸受制御系の検討(D&D 2008)
- 結合係数可変形トランスを利用した交流形磁気浮上
- 658 剛性切り替え制御による磁気浮上系の高耐荷重化
- 656 ステータの運動を考慮した磁気軸受制御系の検討
- 磁路制御形磁気浮上の基本特性の評価と浮上実験(D & D 2007)
- 可変キャパシタンスを利用した静電浮上の原理と浮上実験
- 425 可変磁路式磁気浮上に関する研究 : 第6報:吸引力特性の評価と3自由度位置制御
- 415 共振周波数追従機能を利用した超音波スケーラによる歯科診断
- 4219 ゼロパワー制御を用いた除振ユニットの開発 : 荷重支持機構を備えた除振ユニットの試作(OS5 運動の振動と制御(2))
- 4217 速度フィードバック型のリレー制御系振動を利用した質量測定 : 外乱が測定に与える影響の定量評価(OS5 運動の振動と制御(2))
- 4224 超音波カッターの基本特性の評価(OS5 運動の振動と制御(3))
- 4216 磁気浮上系の局所電流フィードバックによる負のバネ剛性制御 : (第3報)動特性の評価(OS5 運動の振動と制御(2))
- 弾性表面波を用いた摩擦制御とその応用(第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
- 広報・情報部会の最近の活動状況と今後の取組み(5.1 部会の活動,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
- 負の剛性を利用した除振装置 (特集欄 振動--古くて新しい技術フロンティア) -- (Advanced and Topics)
- 運動制御を利用した磁気浮上システム(磁気軸受)
- 418 弾性表面波を用いた摩擦制御とその評価
- 1113 2自由度制御を利用した弾性表面波リニアモータの速度制御(制御用センサ・アクチュエータ)
- 2211 磁気浮上式ジャイロにおける計測帯域の検討(磁気浮上・磁気軸受の制御(2))
- 2214 可変キャパシタンス式電圧制御による静電浮上の実現(磁気浮上・磁気軸受の制御(2))
- 21620 磁気浮上式マイクロジャイロに関する研究 : 第3報:周波数領域における2自由度角速度計測評価(運動制御とセンシング,OS.1 実システムのモデリングと制御)
- 21623 可変磁路式磁気浮上に関する研究 : 第5報,kg級浮上体の浮上実験(運動制御とセンシング,OS.1 実システムのモデリングと制御)
- 21615 弾性表面波リニアモータの超低速駆動特性の改善(電磁力の制御,OS.1 実システムのモデリングと制御)
- 21614 磁気浮上系の局所電流フィードバックによる負のバネ剛性制御 : (第2報)飽和要素を利用した剛性の切換え制御(電磁力の制御,OS.1 実システムのモデリングと制御)
- 21612 可変キャパシタ機構を利用した静電アクチュエータ制御システムの開発 : (第3報)静電浮上実験(電磁力の制御,OS.1 実システムのモデリングと制御)
- トランスの結合係数の変化を利用した磁気浮上の試み
- PWMを用いた弾性表面波リニアモータの速度制御(機械力学,計測,自動制御)
- 磁路制御形磁気浮上に関する研究 : ボイスコイルモータを用いたシステムの開発(運動と振動の制御の21世紀への新展開)
- 3734 速度フィードバック型のリレー制御系振動を利用した質量測定(G10-1 計測・測定・評価,G10 機械力学・計測制御)
- 磁路制御形磁気浮上の提案と基礎実験
- 518 磁気浮上式マイクロジャイロに関する研究 : 第1報:角速度検出原理と基礎実験
- ゼロパワー磁気浮上を利用した除振装置の開発 : 第2報,荷重支持機構の導入(機械力学,計測,自動制御)
- 21011 荷重支持機構を備えたユニット型除振装置の開発 : 多自由度除振装置の実現(実システムのモデリングと制御(3):アクティブ除振,OS2 実システムのモデリングと制御)
- 21009 永久磁石の運動制御を利用した3自由度アクティブ制御型磁気軸受の開発 : 第2報:装置の改良と基礎実験(実システムのモデリングと制御(2):電磁力関連,OS2 実システムのモデリングと制御)
- 21008 弾性表面波リニアモータにおける低速度駆動の実現(実システムのモデリングと制御(2):電磁力関連,OS2 実システムのモデリングと制御)
- エネルギ伝送機能を備えた永久磁石併用交流形磁気浮上(第14回MAGDAコンファレンス)
- 621 診断機能を備えた歯科用超音波スケーラの開発
- 負の剛性を利用したユニット型除振装置(アクティブ制振技術とその応用)
- ゼロパワー磁気浮上を利用したアクティブ除振装置
- 弾性表面波の進行波を用いた皮膚感覚ディスプレイ(機械力学,計測,自動制御)
- 弾性表面波を用いた触覚インターフェース
- 磁気支持応用機器(産業機器)の開発現状と高機能化
- 診断機能を備えた歯科用超音波スケーラの開発(運動と振動の制御の21世紀への新展開)
- セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ（第1報） : —摩擦駆動面への導入と駆動実験—
- 変位センサレス磁気軸受による高速回転体の浮上制御
- 変位センサレス磁気軸受のターボ分子ポンプへの応用
- 20210 可変キャパシタンス機構を利用した静電アクチュエータ制御システムの開発 : (第5報)可変キャパシタを利用した位置検出(制御(2),一般講演)
- 20206 ゼロパワー磁気浮上式除振ユニットを利用した多自由度除振装置の開発(制御(2),一般講演)
- 20205 表面張力を利用したマイクロアセンブリ : 第4報:表面張力の液滴形成へ与える影響(制御(1),一般講演)
- B21 磁気支持型ジャイロにおける角速度計測の検討(OS2 磁気浮上・磁気軸受の制御1)
- 永久磁石の運動制御を利用した反発形磁気軸受機構の開発 : 第3報 : 状態フィードバックによる安定化制御
- 620 パラレルメカニズムを利用したゼロパワー磁気浮上式6自由度アクティブ除振装置の開発
- B26 多重式磁気浮上システムの開発 : 第3報 : 基本定理の証明(OS2 磁気浮上・磁気軸受の制御2)
- セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ (第2報) : —セグメント構造クロム/ダイヤモンド状炭素膜の導入—
- A41 非接触超音波振動方向変換に関する研究(振動の解析と制御)
- 312 能動形動吸振器を利用したアクティブ除振装置の開発 : 第1報 : 基本構想(オーガナイズドセッション3 メカニカルシステムのアドバンスト制御)
- 437 回転型遮束板による磁路制御式磁気浮上装置の開発 : 第2報 ゼロパワー制御の実現
- G1001-5-4 動吸振器系の不動点を利用した質量測定 : 第1報 : 測定原理の提案((5)計測・測定)
- B24 局所フィードバックによる磁気浮上系の剛性制御(OS2 磁気浮上・磁気軸受の制御1)
- 442 多重式磁気浮上システムの開発 : 第2報 直列多重磁気浮上系の可制御性と可観測性
- 3430 リレー制御系の自励振動を利用した質量測定
- 弾性表面波皮膚感覚ディスプレイマウスに関する研究
- 変位センサレス磁気浮上機構の実用化に関する研究 : 第5報 : ヒステリシスアンプの改良とセンサレス浮上の実現
- 非減衰形動吸振器を利用した振動式質量測定装置の開発(機械力学,計測,自動制御)
- 437 動吸振器を利用した質量測定装置の開発 : 第 4 報 : 非減衰形動吸振器を用いた振動式測定
- 703 リレー制御系の自励振動を利用した質量測定装置の開発
- 336 オンオフ制御系の自励振動を利用した質量測定(計測・センサ)
- セルフセンシング静電浮上に関する研究 : 第1報 : 基本構想
- 変位センサレス磁気浮上機構の実用化に関する研究(第3報) : 電圧駆動型オブザーバの構成
- 変位センサレス磁気浮上機構の実用化に関する研究(第2報) : カウンタを利用した制御系の構成
- 130 改良形ヒステリシスアンプを用いたセルフセンシング磁気浮上(磁気浮上・磁気軸受の制御I)(OS 磁気浮上・磁気軸受の制御)
- 2象限動作をするヒステリシスアンプの試作とセンサレス浮上の実現
- 3906 ゼロパワー磁気浮上機構の非線形補償(G10-1 電磁気,音波関連技術,G10 機械力学・計測制御)
- 616 弾性表面波リニアモータの速度制御
- D-4 ガラス基板を用いた弾性表面波皮膚感覚ディスプレイの検討(バルク波・表面波デバイス)
- 410 負の剛性を利用したゼロコンプライアンスシステム第 3 報 : フィードフォワード制御の効果
- 単一のボイスコイルモータを用いた可変磁路ユニットの開発
- G1000-3-1 多重式磁気浮上システムの開発 : 第6報:ジャイロ系の可制御性(機械力学・計測制御部門一般講演(3):機械システムの制御,社会変革を技術で廻す機械工学)
- 202 磁路制御型磁気浮上に関する研究 : 第 3 報 : 横方向の運動の制御
- 2P1-K01 ペンタブレット型弾性表面波皮膚感覚ディスプレイ : 移動型タブレットの導入による全画面への対応
- 1P1-I10 周回型弾性表面波振動子を用いた触覚マウス(触覚と力覚)
- 1A1-H16 ペンタブレット型弾性表面波皮膚感覚ディスプレイ : 液晶ディスプレイとの統合(触覚と力覚)
- 730 負の剛性を利用した磁気浮上式サスペンションを備えた搬送車の開発(開発,OS-23 磁気浮上・磁気軸受,総合テーマ「伝統を,未来へ!」)
- 736 多重式磁気浮上システムの開発 : 第8報:磁気極性が異なる並列二重磁気浮上の実現(制御,OS-23 磁気浮上・磁気軸受,総合テーマ「伝統を,未来へ!」)
- 11813 多重式磁気浮上システムの開発 : 第5報 : 電流制御形並列磁気浮上について(OS5 運動と制御(3),オーガナイズドセッション)
- 1J4-2 シート状超音波振動子の開発と皮膚感覚ディスプレイへの応用(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
- 1A2-E06 シート状超音波振動子を用いた皮膚感覚ディスプレイ : 0.2mm厚石英ガラスのシート状超音波振動子
- 超音波を利用した微小径孔の脱水に関する研究(第1報)脱水の観測
- 単一アクチュエータで駆動する磁路制御ユニッの開発(第23回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
- Multiple Magnetic Suspension Systems (2nd Report: Realization of Double Parallel Magnetic Suspension)