20210 可変キャパシタンス機構を利用した静電アクチュエータ制御システムの開発 : (第5報)可変キャパシタを利用した位置検出(制御(2),一般講演)
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概要
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The voltage applied to the actuator is controlled by varying the capacitance. Non-contact suspension has been achieved by using this control system. In this paper, a method of position detection is proposed. The voltage across the actuator is determined by the capacitance of the actuator and the capacitance of the variable capacitor. Therefore, position of the floator can be estimated by them. This paper shows the principle and basic experiments.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-03-05
著者
-
高崎 正也
埼玉大学大学院理工学研究科
-
水野 毅
埼玉大学大学院理工学研究科
-
石野 裕二
埼玉大学総合研究機構
-
石野 裕二
埼玉大学工学部
-
高崎 正也
埼玉大学
-
加藤 貴彰
埼玉大学
-
水野 毅
埼玉大学
-
石野 裕二
埼玉大学
-
加藤 貴彰
埼玉大
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