加藤 貴彰 | 埼玉大

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  埼玉大学理工学研究科

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著作論文

• 可変キャパシタンスンスを利用した静電浮上機構のセルフセンシング制御システム
• 20210 可変キャパシタンス機構を利用した静電アクチュエータ制御システムの開発 : (第5報)可変キャパシタを利用した位置検出(制御(2),一般講演)
• A101 多重式静電浮上システム : 第4報:二重式静電浮上における浮上特性評価(OS1 磁気浮上・磁気軸受の制御)
• 207102 多重式静電浮上システム : 第3報 : 二重式静電浮上の実現(一般02 機械力学・制御工学8)

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