弾性表面波リニアモータの小型化に関する研究第3報 -最適シリコンスライダ形状について-

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概要

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• 1999-09-01

著者

• 高崎 正也

  埼玉大

• 黒澤 実

  東工大・総理工

• 樋口 俊郎

  東大

• 高崎 正也

  東京大学大学院

• 高崎 正也

  東大

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