酸化チタンを用いた水熱合成法によるPZT膜の作製と振動特性に関する検討

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概要

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• 2003-09-17

著者

• 黒澤 実

  東工大・総理工

• 竹内 真一

  桐蔭横浜大学・工学部・医用工学科

• 石河 睦生

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 石河 睦生

  東工大・総合理工

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