210 シリコンスライダを用いた弾性表面波モータにおける摩擦駆動モデル
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概要
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The driving performance of a surface acoustic wave (SAW) motor using a silicon slider is influenced by the diameter and number of projections arranged on the contact surface of the slider. In order to improve the performance, it is necessary to clarify the influence of the these projection parameters. In this paper, the simulation model which confirmed validity in previous research is applied to the SAW motor using the silicon slider, and the new simulation model considering the influence of the projection parameters is proposed. Moreover, the validity of the proposed simulation model is evaluated from the comparison with experimental results.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-04-18
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