1A2-B01 扇形圧電振動子と平面型予圧機構によるマイクロ超音波モータ(アクチュエータの機構と制御)
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概要
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A micro ultrasonic motor using two sector shaped piezoelectric ceramics vibrators has been designed and fabricated. The vibrators generate elliptical motion by the 1^<st> longitudinal mode and the 2^<nd> flexural bending mode vibrations. The preload between the tip of the vibrator and a rotor is given by a horizontal elastic mechanism. This micro motor has a low-profile, lightweight and compact structure. The outer diameter and the thickness of the vibrator were 10 mm and 0.6mm. The fabricated vibrator was oscillated in the frequency of 340 kHz. The stationary rotation speed was 1200 rpm and the starting torque was 0.1 mNm when the applied voltage was 20V_<p-p>.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-05-11
著者
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