高次モード結合型ランジュバン振動子を用いた超音波ポンプ(強力超音波,一般)

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概要

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マイクロポンプに応用可能な興味深い駆動原理のひとつに,ランジュバン振動子の超音波振動変位を利用した超音波ポンプが考案されている.従来型の超音波ポンプでは正弦波振動変位を用いて駆動を行っていたが,それは振動源である従来のランジュバン振動子では正弦波振動変位しか生成できないためであった.しかし,任意の振動変位とすることによりポンプとしての性能を向上することができる可能性がある.そこで本研究では,高周波振動を重ね合わせることができる様にモード設計したランジュバン振動子を用い,疑似的ノコギリ振動変位や台形変位を用いた,高次モード結合型超音波ポンプを試作し高次モード結合振動の効果を検討した.
2011-12-15

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