超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の摩擦材の検討
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-10-01
著者
-
淺間 一
理研
-
森田 剛
東京大学大学院新領域創成科学研究科
-
森田 剛
東北大
-
高橋 俊一
東京大学大学院:(現)ソニー(株)
-
新野 俊樹
東京大学生産技術研究所
-
新野 俊樹
東大
-
新野 俊樹
東大生研 理化学研究所
-
高野 俊一
東京大学生産技術研究所情報・システム部門
-
森田 剛
東京大学大学院
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