真空中浮上搬送装置を目指した静電浮上機構(静電レール)への交流浮上の応用

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概要

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• 2002-10-01

著者

• 淺間 一

  理化学研究所

• 新野 俊樹

  東京大学生産技術研究所

• 新野 俊樹

  東大生研 理化学研究所

• 塚本 英隆

  東大大学院

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