超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の摩擦材の検討 (特集 時代を切り開く超音波加工)

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概要

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著者

• 高橋 俊一

  東京大学大学院:(現)ソニー(株)

• 新野 俊樹

  東京大学生産技術研究所

• 新野 俊樹

  東大

• 高野 俊一

  東京大学生産技術研究所情報・システム部門

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