超音波モータによる超高真空対応回転導入器--真空中での速度-負荷特性および真空特性 (特集:超音波を使用したさまざまな加工)

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概要

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著者

• 森田 剛

  東北大

• 高橋 俊一

  東京大学大学院:(現)ソニー(株)

• 新野 俊樹

  東京大学生産技術研究所

• 新野 俊樹

  東大

• 高野 俊一

  東京大学生産技術研究所情報・システム部門

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