P3-45 超音波モータを利用した回転導入器の真空中の駆動特性(ポスターセッション3,ポスター発表)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2001-11-07
著者
-
森田 剛
東北大
-
高橋 俊一
東京大学大学院:(現)ソニー(株)
-
新野 俊樹
東京大学生産技術研究所
-
新野 俊樹
東大
-
森田 剛
EPFL
-
高橋 俊一
東大・工
-
高野 俊一
東京大学生産技術研究所情報・システム部門
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