超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の試作
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概要
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超音波モータはそのシンプルな構造や、電磁ノイズを発生しない、潤滑油を必要としない等の理由から真空環境に適したアクチュエータである。しかし、エネルギー変換部となる圧電素子はアウトガスの発生源となりうる上、ベーク処理に耐えられない可能性がある。本研究では圧電素子を真空チャンバの外部に配置し、超音波モータの原理で駆動される回転導入器を製作した。この回転導入器により、真空度10^<-6>[Pa]という極限環境での回転駆動に成功した。今後は摩擦駆動面の材質を検討し、耐久性について検討を行っていく予定である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-12
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