直流バイアスを有する交流電圧による真空中静電浮上 : オーバーシュート量と安定性の関係に関する考察

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概要

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• 2000-09-01

著者

• 江戸 宏一

  東大院

• 新野 俊樹

  東京大学生産技術研究所

• 樋口 俊郎

  東京大学院工学系研究科

• 江戸 宏一

  東京大学院

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