超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の真空中での駆動特性
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
森田 剛
東北大
-
高橋 俊一
東京大学大学院:(現)ソニー(株)
-
新野 俊樹
東京大学生産技術研究所
-
新野 俊樹
東大生研 理化学研究所
-
森田 剛
EPFL
-
高野 俊一
東京大学生産技術研究所情報・システム部門
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