ギャップ制御を用いたマイクロ浮上機構の基礎的研究

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概要

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• 2000-06-29

著者

• 樋口 俊郎

  東大院・工

• 森田 剛

  理研

• 岡 宏一

  高知工大

• 清水 勝己

  東大院

• 長谷川 昌幸

  富士通

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