ギャップ制御型マイクロ浮上機構

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2000-03-01

著者

• 樋口 俊郎

  東大院・工

• 森田 剛

  理研

• 岡 宏一

  高知工大

• 清水 勝己

  東大院

• 長谷川 昌幸

  富士通

関連論文

• KNbO_3エピタキシャル膜の製膜と圧電特性の評価
• 水熱合成粉末を用いた(K,Na)NbO_3セラミックスの圧電効果(物性,一般)
• 生体内部の発現遺伝子の3次元局在の観察手法の開発
• SIDMを用いたパラレルリンク機構
• 2P5-1 VHF帯超音波イメージングを目的としたKNbO_3配向制御膜トランスデューサ(ポスターセッション)
• 超音波アシスト水熱合成法による圧電材料の合成
• 1J1-3 水熱合成法によるKNbO_3エピタキシャル膜の作製と特性評価(超音波物性・材料・フォノン物理)
• 水熱合成粉末によるニオブ酸カリウムセラミックスの圧電特性
• 2-01-02 水熱法を用いたニオブ酸カリウムセラミックスの合成(超音波物性・材料・フォノン物理)
• 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ : 第二報:モータの小型化と特性評価(アクチュエータの機構と制御1)
• 1A1-1F-F6 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ
• 水熱法PZT薄膜を用いた加振形プローブセンサ
• OE05 PZT薄膜を用いた形状測定用加振形プローブセンサの設計と評価(バルク波デバイス)
• SA-5-6 PZT薄膜を用いた縦振動プローブ接触センサの分解能
• PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第6報) : プローブセンサの測定力と分析
• PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第5報) : プローブセンサを用いた表面形状の測定
• 円筒型マイクロ超音波モータ
• PZT薄膜を用いた加振形接触セソサ(第4報)-検出感度, 分解能の測定-
• PZT薄膜による縦振動子を用いた振動形プローブセンサ
• PZT薄膜を用いたディスク型小型超音波モータの試作
• 2A1-F7 薄型リニアアクチュエータを用いた触感インタフェース(16. 柔軟物のモデリングと力覚を伴った変形手法)
• 電磁反発衝撃力を用いた微小駆動機構の基礎特性(J22-1 センサ・アクチュエータシステムとその知能化(1),J22 センサ・アクチュエータシステムとその知能化-実環境で活躍するメカトロニクスを目指して)
• F-0604 ダイヤモンドバイトを用いたシェーパ加工による自由曲面の鏡面加工(S41-1 生産システムにおけるハードウェア技術(1))(S41 生産システムにおけるハードウェア技術)
• E28 超音波2軸援用マイクロ非球面研磨法の開発(OS-11 超精密加工(1))
• 228 ファストツールサーボによる超精密非軸対称非球面金型の加工(OS-6 超精密加工)
• 902 CCTVを用いた越波検出システムの開発(機械力学・計測制御V)
• 低温環境における生体・食品への微細加工技術の開発
• QG05 超音波振動子を利用した超高真空対応回転導入機の試作(ポスターセッションII)
• 超音波振動子を利用した超高真空対応回転導入機構
• B27 永久磁石と回転形モータを利用した磁路制御型磁気浮上機構(OS2 磁気浮上・磁気軸受の制御2)
• 1J-5 超音波アシスト水熱合成法による圧電材料の合成とその評価(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
• 静電力と音波浮揚力との組み合わせによる薄いガラスディスクの浮上回転駆動システム
• ギャップ制御型マイクロ浮上機構
• ギャップ制御を用いたマイクロ浮上機構の基礎的研究
• 永久磁石の運動制御法式による2自由度浮上機構における考察
• ギャップ制御型マイクロ浮上機構
• B22 永久磁石とリニアアクチュエータを利用した非接触浮上機構の零パワー制御(OS2 磁気浮上・磁気軸受の制御1)
• ニオブ酸リチウム積層アクチュエータ--ハイパワー振動子を目指して (特集:環境にやさしい非鉛系圧電材料--セラミックスを中心として)
• QG04 積層型ニオブ酸リチウムアクチュエータの試作(ポスターセッションII)
• 交流駆動両電極形静電モータの変調駆動
• 交流駆動両電極形静電モータのトランスを用いた駆動 -2周波数法におけるトランス設計法-
• 永久磁石の運動制御法式による2自由度浮上機構における考察
• 永久磁石の運動制御を用いた2自由度浮上システム
• 永久磁石とアクチュエータを用いた3自由度懸垂形磁気浮上システム
• 運動制御による操作力調整機構を用いたマニピュレーション
• 永久磁石の運動制御による3自由度懸垂形磁気浮上機構 -分散制御と集中制御の比較-
• QG08 長ストローク弾性表面波リニアモータの駆動特性(ポスターセッションII)
• 直流高電圧に交流高電圧を重量畳した真空中静電浮上
• アルミ厚板の真空中静電浮上
• 真空中におけるアルミ円盤の静電浮上
• 1J4-1 超音波アシスト水熱合成法のための高温対応振動子の開発(非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
• D203 ピーマン自動収穫のための果実認識方法の改善(OS14 農業機械の運動と制御1)
• 140 講演円盤磁石による磁路制御型磁気浮上機構の2自由度浮上に関する考察(省エネルギ磁気浮上・磁気軸受,OS-23 磁気浮上・磁気軸受,総合テーマ:「部門創設25周年、新たなる躍動」)
• 140 円盤磁石による磁路制御型磁気浮上機構の2自由度浮上に関する考察

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク