超精密切削加工による静電アクチュエータ微細電極の形成

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1997-03-01

著者

• 森田 晋也

  東大院

• 樋口 俊郎

  東大・工

• 山本 晃生

  東大

• 樋口 俊郎

  東大

• 新野 俊樹

  理研

• 山形 豊

  KAST

• 森田 晋也

  東大大学院

• 新野 俊樹

  東京大学

関連論文

• 弾性表面波の進行波を用いた皮膚感覚ディスプレイ(機械力学,計測,自動制御)
• 試料内部3次元情報取得システムによるアルミニウム合金ダイカスト内部の鋳巣観察
• 逐次精密切削加工による試料内部3次元情報取得システムの開発
• 319 宇宙線観測装置のための超広視野観測光学系用曲面フレネルレンズの加工(OS6 マイクロ加工(2))
• 水熱法PZT薄膜を用いた加振形プローブセンサ
• OE05 PZT薄膜を用いた形状測定用加振形プローブセンサの設計と評価(バルク波デバイス)
• SA-5-6 PZT薄膜を用いた縦振動プローブ接触センサの分解能
• PZT薄膜を用いたディスク型小型超音波モータの試作
• PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第6報) -さらなる小型化に向けて-
• 423 精密切削を利用した骨組織の3次元微視構造観察とミネラル分布測定(OS6-3:硬組織のバイオメカニクス(3),OS6:硬組織のバイオメカニクス)
• 400mmシリコンウェハの非接触静電浮上
• 真空環境用静電リニアモータの開発
• 212 真空環境対応静電浮上式リニアモータの開発
• 2A1-F7 薄型リニアアクチュエータを用いた触感インタフェース(16. 柔軟物のモデリングと力覚を伴った変形手法)
• 電磁反発衝撃力を用いた微小駆動機構の基礎特性(J22-1 センサ・アクチュエータシステムとその知能化(1),J22 センサ・アクチュエータシステムとその知能化-実環境で活躍するメカトロニクスを目指して)
• 卵細胞回転機構の開発
• F-0604 ダイヤモンドバイトを用いたシェーパ加工による自由曲面の鏡面加工(S41-1 生産システムにおけるハードウェア技術(1))(S41 生産システムにおけるハードウェア技術)
• E28 超音波2軸援用マイクロ非球面研磨法の開発(OS-11 超精密加工(1))
• 228 ファストツールサーボによる超精密非軸対称非球面金型の加工(OS-6 超精密加工)
• PB1 水熱合成法におけるPZT薄膜成膜の生成過程プロセスの改良(ポスターセッション1)
• 0945 In vivo人体筋からの生理・力学情報の非侵襲計測(S05-3 生体のシミュレーション・モデリング・計測(3),S05 生体のシミュレーション・モデリング・計測)
• 1028 MR画像を用いた生体力学計測への静電モータの応用(G02-3 バイオエンジニアリング(3),G02 バイオエンジニアリング)
• 0929 Inverse FEMによる生体軟組織の異方性物性値同定(S05-1 生体のシミュレーション・モデリング・計測(1),S05 生体のシミュレーション・モデリング・計測)
• アクチュエータ(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
• 低温環境における生体・食品への微細加工技術の開発
• 液滴塗布装置の吐出異常検知に関する研究
• 次世代アクチュエータの展望とトライボロジーの役割
• 実用化を控えた様々なアクチュエータ
• フレキシブル基板を用いた静電容量型屈曲センサの開発
• 摩擦保持された部品用精密微調機構
• 2P1-C2 静電気力を用いた卵細胞回転機構の開発(58. マイクロ・ナノ作業I)
• 非軸対称非球面の超精密研削(第2報):マイクロ回転非軸対称非球面の研削
• 231 非軸対称非球面の超精密研削(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
• 磁気浮上技術の産業利用の現状と将来動向(7) : 新概念のシステムと関連技術
• 静電フィルムアクチュエータを用いた2自由度ロボットアームの開発
• 高出力両面駆動形積層静電モータ
• ロボット関節用静電クラッチのインピーダンス制御
• ロボット関節用静電クラッチの開発--高齢者を支援するシステム(機器)に関する研究
• 真空環境用静電リニアモータの開発
• 柔軟な構造を有する静電フィルムアクチュエータの開発 : 推力特性評価
• 659 弾性表面波霧化器と静電気力を複合した新たなタンパク質固定化法
• 435 静電スプレーによるタンパク質薄膜と SU-8 カンチレバーを用いた新しいバイオセンサ
• 1P1-N-102 接触面温度予測に基づく物体温度触感の提示 : 個人差を考慮した提示手法(触覚と力覚2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• 2P1-N-077 弾性表面波デバイスによる液滴の搬送,混合,霧化(マイクロナノ作業2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• 415 中間赤外分光用イマージョングレーティングのためのマイクロ研削加工
• ELID研削による微細溝加工に関する研究
• 機上計測用高精度小型触針式形状測定センサの開発
• P1-5 水熱合成法PZT薄膜を用いた超音波振動子の振動速度限界(ポスターセッション1,ポスター発表)
• 318 中性子物質レンズのための微細溝をもつ石英フレネルレンズのELID研削による加工(OS6 マイクロ加工(2))
• 414 超精密 6 軸加工機による自由曲面ホログラム光学素子のマイクロ切削加工
• QG07 弾性表面波モータ用スライダ接触部突起の寸法と密度の検討(ポスターセッションII)
• 弾性表面波モータ用シリコンスライダにおける突起パラメータの最適化
• 凍結状態の卵細胞を対象とする細胞操作法の開発
• 弾性表面波超音波モータの摩擦駆動特性
• 交流駆動両電極形静電モータの推力特性に関する最適化
• 静電フィルムモータを用いたハプティックデバイスの検討
• 静電アクチュエータの高出力化とその応用 (特集2 次世代アクチュエータの加工,高効率化と最先端応用技術)
• 1P1-S-084 静電誘導を用いた三相交流駆動両電極形静電モータ(アクチュエータの機構と制御2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• MRI強磁場環境における静電フィルムモータの駆動特性評価
• 摩擦力制御を用いた静電皮膚感覚ディスプレイ
• 接触面温度予測に基づく材質温度感の提示
• 金型コーナー部のELID鏡面研削効果
• 206 Fe-Ga合金を用いた精密位置決め機構の開発(マルチフェロイクス)
• H-1 高応答SAWリニアモータに関する研究(弾性表面波デバイス,口頭発表)
• 複数振動子を用いた弾性表面波リニアモータの駆動
• F1101(2) 特殊環境アクチュエータの最前線([F1101]ブレイクスルーを産み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
• F1101(1) ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ([F1101]ブレイクスルーを産み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム)
• 静電力と音波浮揚力とを組み合わせた薄いガラス板の浮上直進駆動システム
• 薄板ガラスの空気圧浮上静電力直進駆動システム
• 静電気吸引力を用いた薄いガラス板の非接触ハンドリング装置
• 211 弾性表面波の定在波振動を用いた液体の搬送と霧化
• スキュー電極を用いた高出力静電モータ
• 電極の傾斜配置による静電モータの性能改善に関する解析
• 傾斜電極を用いた高分解能静電容量式リニアスケール
• 電極の傾斜配置による静電アクチュエータの性能向上
• 両電極型静電モータを利用した2自由度位置決め機構
• 高出力静電リニアモータのサーボ制御
• 高出力静電モータ用コントローラの開発
• 交流駆動両電極形静電モータの変調駆動
• 高出力静電リニアモータを用いた高精度位置決め制御
• 交流駆動両電極形静電モータのトランスを用いた駆動 -2周波数法におけるトランス設計法-
• 交流駆動両電極形静電モータの効率 -1周波数法変調駆動における効率-
• 交流駆動両電極形静電モータの変調駆動法における動作特性
• 交流駆動両電極形静電モータの変圧器を用いた変調駆動法
• 超精密切削加工による静電アクチュエータ微細電極の形成
• 精密切削加工による微細構造形成の試み -微細スパイラル電極の形成-
• 回転出力型静電フィルムモータ -クランク機構を用いた試作-
• 分散配置多相電極を有する静電フィルムモータ
• 液滴塗布ヘッド内の気泡検出に関する研究
• 2A2-K12 静電駆動を用いたマイクロスクリューポンプの開発
• 1P1-D02 静電フィルムモータを用いたジョイスティック型2自由度ハプティックデバイスの試作
• 1A1-C16 DC静電インパクト駆動機構の電圧特性
• PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第5報) -直径1.4mm, 高さ5mmのステータ振動子を用いて-
• PZTセラミックスマイクロ超音波モータ
• 1P1-I14 物体表面における濡れ感の再現提示に関する基礎的検討(触覚と力覚)
• 1A1-H22 粘着触感提示のための表面粘着力の速度依存性評価(触覚と力覚)
• フライングワイヤによる打撃を用いた微小部品精密位置決め機構(第4報)
• ハイパワー静電アクチュエータ (2000モータ技術シンポジウム) -- (次世代に期待されるアクチュエータ)
• 2P1-O09 指変形と滑り方向知覚の関連性の実験的検証(触覚と力覚(2))
• 2P1-O10 形状記憶合金を用いた物体接触感提示装置の開発(触覚と力覚(2))

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク