2A2-K12 静電駆動を用いたマイクロスクリューポンプの開発

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概要

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• A micro pump is an essential component in μ-TAS (Micro Total Analysis System). However, miniaturization of the micro pump is difficult because it has power source; therefore, it is less developed compared with other components of μ-TAS. In this paper, we propose a novel micro screw pump driven by electrostatic force. The micro screw pump has an advantage such as no generation of a pulsation flow. In addition, it uses electrostatic force to drive which might be effective for micro actuation. As a primary stage of development, we confirm in this study a basic principle of electrostatic driving and characterize a prototype. The results show the principle of electrostatic driving is effective for a micro screw pump.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2009-05-25

著者

• 竹村 研治郎

  慶大

• 門並 秀樹

  慶應義塾大学大学院理工学研究科

• 山本 晃生

  東京大学工学系研究科精密機械工学専攻

• 竹村 研治郎

  慶應義塾大学機械工学科

• 竹村 研治郎

  慶應義塾大学理工学部機械工学科

• 山本 晃生

  東大

• 門並 秀樹

  慶大

• 山本 晃生

  東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻

• 竹村 研治郎

  慶應義塾大学理工学部

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