精密切削加工による微細構造形成の試み -微細スパイラル電極の形成-
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概要
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A new fabrication method for electrostatic actuators is proposed. This method uses precision cutting technique to fabricate minute grooves which will be filled up with electro-plated metal layer to from fine three phase electrodes. Two types of sample electrodes with 40 micrometer pitch are fabricated on the surface of cylinders of 10mm diameter polyimide. One of the fabricated electrode was able to drive insulating fluid by applying pulse voltages. Though there were some defects on those electrodes, the breakdown voltage was as high as 1000V, which shows the potential ability of this fabrication method.
- 社団法人 電気学会の論文
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