PZT薄膜を用いた円筒型マイクロ超音波モータ(第5報) -直径1.4mm, 高さ5mmのステータ振動子を用いて-

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概要

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• 1998-09-01

著者

• 樋口 俊郎

  東大・工

• 森田 剛

  東大・工

• 黒澤 実

  東大・工

• 森田 剛

  東京大学

• 森田 剛

  東大

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