2829 エレクトロマイグレーションを利用したナノワイヤ創製の数値シミュレーション(S08-1 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(1),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
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概要
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It is known that the high current density and high joule heating due to the scaling down of electronic devices cause electromigration, which is one of the most frequently arisen failures in the metal line. Electromigration is the phenomenon that the metallic atoms are transported by electron wind due to high current density. A technique of generating metallic nanowire by utilizing electromigration has recently been proposed. The present study reported a numerical simulation method of the nanowire-generation technique based on the prediction method of electromigration failure.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-07
著者
-
笹川 和彦
弘前大
-
福士 翔大
弘前大院
-
SUN Yuxin
東北大
-
坂 真澄
東北大
-
坂 真澄
東北大学大学院
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
Saka Masumi
Department Of Machine Intelligence & Systems Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku U
-
坂 真澄
東北大学
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