118 気相合成ダイヤモンドのナノストラクチャとき裂進展抵抗
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概要
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This paper reports the toughness of CVD diamond films in connection to their nanoscopic crystalline structures. We examined the toughness of diamond films deposited on silicon wafers with various methane concentrations in the source gas mixture. The crack paths and crystalline morphologies of deposited diamond were observed in detail by using scanning and transmission electron microscopy. Discussion would be focused on the correlation between the crack extension resistance and crystalline morphologies of diamond films.
- 社団法人日本機械学会の論文
著者
-
坂 真澄
東北大
-
阿部 博之
東北大工学部
-
阿部 博之
東北大学
-
阿部 博之
東北大・工
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
神谷 庄司
東北大
-
高橋 博紀
東北大
-
阿部 博之
日本機械学会
-
阿部 博之
東北大 工学部
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