610 異なる基板上に形成された硬質薄膜の強度と破壊挙動の評価
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-23
著者
-
坂 真澄
東北大
-
羽生 博之
オーエスジー(株)
-
羽生 博之
オーエスジー
-
神谷 庄司
名工大
-
坂 真澄
東北大学大学院
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
神谷 庄司
東北大
-
長澤 英亮
東北大
-
山辺 基一郎
東北大
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