T0401-1-3 エレクトロマイグレーションによるAl原子排出のその場観察(金属ナノ材料の創製と展開(1))
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概要
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Recently, Al fine materials, e.g., nanowire and micro-ball, have been fabricated by electromigration. In this paper, in-situ observation of discharging process of Al atoms by electromigration was performed in scanning electron microscope. Current density was constant of 2.5MA/cm^2, and heater temperature were changed at 533, 573, 593 and 613K. With increasing in heater temperature, Al atoms started to be discharged earlier, and lager amount of atoms were discharged. In the microscope, discharged atoms didn't form any ordered materials such as nanowires and micro-balls, although arger amount of atoms were discharged as compared with the case in air.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
-
坂 真澄
東北大
-
燈明 泰成
東北大
-
燈明 泰成
東北大学
-
坂 真澄
東北大学大学院
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
Saka Masumi
Department Of Machine Intelligence & Systems Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku U
-
野辺 佑樹
東北大院
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