440 エレクトロマイグレーション損傷の支配パラメータを用いた表面に保護膜を有する多結晶配線の断線予測とその検証(OS01-5 電子デバイス実装・電子材料と計算力学(5))(OS01 電子デバイス実装・電子材料と計算力学)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2001-11-27

著者

• 笹川 和彦

  弘前大

• 坂 真澄

  東北大

• 長谷川 昌孝

  東北大

• 阿部 博之

  東北大工学部

• 阿部 博之

  東北大学

• 坂 真澄

  東北大学大学院工学研究科

• 阿部 博之

  東北大 工学部

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