806 保護膜の厚さを考慮した保護膜被覆多結晶配線の断線故障予測

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-09-23

著者

• 笹川 和彦

  弘前大

• 坂 真澄

  東北大

• 長谷川 昌孝

  東北大

• 坂 真澄

  東北大学大学院

• 坂 真澄

  東北大学大学院工学研究科

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