106 熱サイクル加速試験による超高純度アルミニウム薄膜のマイグレーション耐性評価(若手優秀講演フェロー賞対象講演(1))
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-26
著者
-
坂 真澄
東北大
-
山下 満男
富士電機アドバンストテクノロジー
-
山下 満男
富士電機
-
坂 真澄
東北大学大学院
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
Saka Masumi
Department Of Machine Intelligence & Systems Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku U
-
菅野 貴大
東北大院
-
李 志遠
東北大
-
都甲 文亨
富士電機
-
山下 満男
富士電機ホールディングス
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