721 新規手法による PVD コーティングの定量的強度評価
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概要
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Mechanical strength of a thin film deposited on a substrate should be characterized by basically four parameters, which are strength of the film, strength of the interface, Young's modulus of the film and residual stress in the film, provided that properties of the substrate are given. A systematic method of measurement for these parameters has recently been developed by the authors. In this study, variations of this method are newly developed in order to evaluate those parameters even in the case of brittle thin films with tough interface and large residual strain which the original method could not manage. The new technique is successfully applied to the case of wear resistant PVD coatings on cutting tools.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
著者
-
坂 真澄
東北大
-
阿部 博之
東北大工学部
-
阿部 博之
東北大学
-
神谷 庄司
名工大
-
阿部 博之
東北大・工
-
坂 真澄
東北大学大学院
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
神谷 庄司
東北大
-
長澤 英亮
東北大
-
山辺 基一朗
東北大
-
山辺 基一郎
東北大
-
阿部 博之
日本機械学会
-
阿部 博之
東北大 工学部
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