737 配線端部におけるエレクトロマイグレーション損傷支配パラメータを用いた配線物性値の導出

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-11-22

著者

• 笹川 和彦

  弘前大

• 坂 真澄

  東北大

• 宇野 茂雄

  弘前大

• 長谷川 昌孝

  東北大

• 坂 真澄

  東北大学大学院

• 坂 真澄

  東北大学大学院工学研究科

• 渡邊 祥達

  弘前大

関連論文

• サンプリングモアレ法を用いた位相ベースマッチングによる三次元絶対変位分布計測 ([日本実験力学会]2010年度年次講演会)
• 440 試験片形状の異なるエレクトロマイグレーション・ナノストラクチャー創製の数値シミュレーション(T08-1 金属ナノ材料の創製と展開(1) 金属ナノ材料の創製,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 439 エレクトロマイグレーションを用いたナノストラクチャー創製の数値シミュレーション手法の開発(T08-1 金属ナノ材料の創製と展開(1) 金属ナノ材料の創製,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 904 舌-口蓋間の接触圧力測定システムの開発(J04-1 臨床医歯学における非・低侵襲計測技術の展開(1) 歯科・整形外科における計測および生体シミュレーション,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 2829 エレクトロマイグレーションを利用したナノワイヤ創製の数値シミュレーション(S08-1 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(1),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
• 0914 血管-ステント間の接触圧力分布測定システムの開発(J07-3 バイオ・医療と設計(3),J07 バイオ・医療と設計)
• 1930 電子デバイス銅配線におけるエレクトロマイグレーションの支配的拡散経路に関する研究(J16-4 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価(4),J16 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)
• 5527 リンパ浮腫治療用弾性ストッキング使用時の下肢 : ストッキング接触圧力測定システム(S86-2 生物医学工学における計測と制御(2),S86 生物医学工学における計測と制御)
• 3956 折れ曲がるバンブー構造配線のエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度(S21-3 強度物性と信頼性,S21 ナノ・マイクロ構造体の強度物性と信頼性)
• 03.障害者スキーにおけるシート : 臀部間の接触圧力分布測定(平成17年度東北支部大会抄録)
• 321 リンパ浮腫治療用弾性ストッキング使用時の接触圧力測定システム(学生賞II)
• 320 生体小関節における接触圧力分布の測定システム(学生賞II)
• 123 多結晶配線における配線二次元形状がしきい電流密度に及ぼす影響(学生賞III)
• 522 Open Wedge高位脛骨骨切り術前後における膝蓋大腿関節の接触圧力分布測定(OS3-5,オーガナイズドセッション3:臨床系のバイオメカニクス,学術講演)
• 半導体集積回路配線におけるエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度の評価 (MEMS 2006 第16回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集)
• 203 二次元形状の多結晶配線におけるエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度(OS-2A,OS-2 電子デバイス実装・電子材料と計算力学)
• 1136 チェアスキー滑降時のシート-臀部間の接触圧力分布測定(S11-3 計測と力学-生体への応用(3),S11 計測と力学-生体への応用)
• 1855 バンブー配線の二次元形状がエレクトロマイグレーション損傷のしきい電流に及ぼす影響(J09-3 プリント基板接続信頼性,J09 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)
• ドリフト速度計測によるバンブー金属薄膜配線の物性定数の導出(OS24a ナノ・マイクロ構造の強度信頼性解析)
• エレクトロマイグレーション前後におけるアルミバルク材の熱電能の検討(材料力学I-3)
• 配線端のドリフト速度計測による配線物性定数の導出法(S05-5 ナノ・マイクロ構造体の信頼性,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• 510 直流電位差法による厚肉部材裏面き裂の非破壊評価(材料力学I)
• 105 白金極細線の自己完了溶接過程のその場観察(若手優秀講演フェロー賞対象講演(1))
• P89 通電時における微小領域温度計測によるSn-Pb共晶はんだのエレクトロマイグレーション形態観察(微視構造,ポスター講演3)
• 211 大気中アーク放電による炭素鋼表面の硬度向上(材料評価II)
• 901 豚膝半月板の弾性係数の測定
• 斜角超音波探傷におけるオーステナイト系ステンレス鋼のノイズ低減(材料力学II-2)
• 局部冷却による閉じたき裂の開口と超音波検出感度の向上(技術OS2-1 非破壊検査,技術OS2 電力設備の健全性)
• 145 ナノワイヤの曲げ加工技術によるナノコイルの創製(材料力学III)
• 521 電磁現象を利用した微細金属配線の非接触電流測定(材料力学III)
• 101 ステント使用時の血管内壁に作用する接触圧力分布の測定システム(若手優秀講演フェロー賞対象講演(1))
• 111 ステント形状検討のための血管-ステント間の接触圧力分布測定システムの開発(学生賞II)
• スパッタチタン薄膜の機械的特性 : 薄膜微細組織の透過電子顕微鏡観察
• Cavitation Shotless Peening for Surface Modification of Alloy Tool Steel
• 402 Cavitation Shotless Peening for Surface Modification of Alloy Tool Steel
• (5)Microwave Imaging of Conductivity Distribution of Silicon Wafers(論文,日本機械学会賞〔2005年度(平成17年度)審査経過報告〕)
• 第 1 部 (2) 半導体集積回路における微細金属薄膜配線の断線故障予測
• 352 保護膜の厚さを考慮したエレクトロマイグレーション損傷の予測
• 506 等方性炭素材料の珪化破壊に関する研究
• 825 保護膜で被覆された折れ曲がる多結晶配線の断線予測
• 721 新規手法による PVD コーティングの定量的強度評価
• 711 耐摩耗被膜の破壊挙動と総合的機械特性に基づく新しい健全性評価
• 416 折れ曲がる保護膜被覆多結晶配線の断線予測
• 118 気相合成ダイヤモンドのナノストラクチャとき裂進展抵抗
• 440 エレクトロマイグレーション損傷の支配パラメータを用いた表面に保護膜を有する多結晶配線の断線予測とその検証(OS01-5 電子デバイス実装・電子材料と計算力学(5))(OS01 電子デバイス実装・電子材料と計算力学)
• 銅とバリアメタル界面の付着強度評価(OS24b ナノ・マイクロ構造の強度信頼性解析)
• サブミクロン銅薄膜とバリアメタル界面の付着強度評価(S05-2 薄膜界面はく離・欠陥評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• 基板上に形成された銅薄膜の付着強度評価(破壊力学)
• 106 熱サイクル加速試験による超高純度アルミニウム薄膜のマイグレーション耐性評価(若手優秀講演フェロー賞対象講演(1))
• T0401-1-4 スパッタ法で成膜した高純度Al薄膜におけるエレクトロマイグレーションの支配因子の評価(金属ナノ材料の創製と展開(1))
• 1929 鉛フリーはんだのエレクトロマイグレーション耐性評価に関する研究(J16-4 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価(4),J16 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)
• 409 Sn-Pb共晶はんだの高密度電流下における微小領域温度計測(き裂・靭性・計測,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション9)
• 196 エレクトロマイグレーションによるAl微細ワイヤとボールの選択的形成(機械材料・材料加工)
• マイクロ波による半導体材料の導電率の定量評価手法の開発
• マイクロ波によるステンレス鋼表面上の閉じたき裂の定量評価(破壊力学)
• Quantitative Evaluation of Moisture in Encapsulant Resin of IC Packages by Microwaves(Advanced Technology of Experimental Mechanics)
• 306 マイクロ波による金属表面上の三次元き裂の形状および寸法の評価
• OS2(4)-15(OS02W0125) Quantitative Evaluation of Moisture in Encapsulant Resin of IC Packages by Microwaves
• 522 マイクロ波二周波数法に及ぼすき裂閉口圧の影響
• 解説 電場計測応用手法とき裂検出・評価--直流電位差法とマイクロ波法
• A Method for Sizing Small Fatigue Cracks in Stainless Steel Using Microwaves(Special Issue on strength and Fracture, and Experimental Mechanics)
• 208 シリコンウェーハの導電率の非接触計測手法の開発
• 707 ミリ波コンパクト装置による導電薄膜の導電率の非接触計測
• マイクロ波コンパクト装置による材料非破壊評価
• 二周波数法を用いた三次元疲労き裂の定量評価
• マイクロ波による金属材料表面上の閉じた疲労き裂の非破壊評価
• 高分子膜を介した半導体デバイス内部の超音波可視化(技術OS3-1 半導体デバイス,技術OS3 電子・情報機器と材料力学)
• 3953 多結晶シリコン薄膜の強度と疲労特性(S21-3 強度物性と信頼性,S21 ナノ・マイクロ構造体の強度物性と信頼性)
• PS08 繊維強化樹脂材料の金属圧入部を対象としたクリープ変形予測(ポスターセッション)
• 133 樹脂材料のクリープ物性値取得と樹脂/金属圧入部のクリープ挙動解析(材料力学III)
• 610 異なる基板上に形成された硬質薄膜の強度と破壊挙動の評価
• 刃先形状の最適化による高性能ダイヤモンドコーティングドリルの開発
• 122 原子流束発散に基づく高純度アルミニウムのエレクトロマイグレーション耐性評価(材料力学I)
• 117 粒界拡散に着目した鉛フリーはんだのエレクトロマイグレーション耐性評価(学生賞III)
• 321 ダイヤモンドコート工具の付着強度と耐久性能 : 界面じん性の改善とその工具寿命への影響(OS1-4 表面改質処理と特性評価)(OS1 高強度材・表面改質材の疲労と破壊)
• 1925 ジュール加熱を利用したPtナノワイヤの溶接(J16-3 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価(3),J16 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)
• 表層欠陥検出用超音波センサによる薄鋼板中の介在物検出
• 表層欠陥検出用超音波センサの開発 : 溶射皮膜評価への適用
• 102 嚥下機能評価のための口腔および咽頭内の接触圧力測定システム(若手優秀講演フェロー賞対象講演(1))
• 113 表面に保護膜を有する多結晶配線におけるエレクトロマイグレーション損傷支配パラメータ
• T0401-1-1 試験片の損傷を考慮したエレクトロマイグレーションによる金属ナノストラクチャー創製の数値シミュレーション(金属ナノ材料の創製と展開(1))
• 116 二次元形状が異なるバンブー構造配線におけるエレクトロマイグレーション損傷のしきい電流密度(学生賞III)
• 106 多結晶Al配線におけるエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度の実験的評価(学生賞I,環境工学/学生賞I)
• 737 配線端部におけるエレクトロマイグレーション損傷支配パラメータを用いた配線物性値の導出
• 806 保護膜の厚さを考慮した保護膜被覆多結晶配線の断線故障予測
• 1833 配線端部におけるエレクトロマイグレーション損傷の支配パラメータ
• ステント形状評価を目的とした血管-ステント間の接触圧力分布測定システム
• リンパ浮腫治療用弾性ストッキングと下肢間の接触圧力分布測定システム
• 528 表面に保護膜を有する多結晶配線のエレクトロマイグレーション損傷支配パラメータの実験的検証(OS7-3 損傷・破壊)(OS7 微視構造を有する材料の力学)
• (4) PREDICTION OF ELECTROMIGRATION FAILURE IN BAMBOO LINES
• 636 エレクトロマイグレーション損傷支配パラメータを用いた表面に保護膜を有する多結晶配線の断線予測法
• 318 金属薄膜熱電対の熱電効果に及ぼすエレクトロマイグレーションの影響(OS2-3 皮膜・薄膜の環境強度,OS2 薄膜・皮膜とその膜構造の特性評価)
• T0301-1-5 異なる創製条件下のエレクトロマイグレーションによる金属ナノストラクチャー創製の数値シミュレーション([T0301-1]金属ナノ材料の創製と展開(1))
• 419 トムソン効果に及ぼす高密度電流起因原子拡散の影響についての検討(腐食損傷・計測II)
• 金属薄膜配線におけるエレクトロマイグレーション損傷支配パラメータの実験的検証(材料のミクロ・メゾ評価)
• 140 内視鏡視下手術への使用が可能な生体用接触圧力分布測定システムの開発(材料力学III,一般講演)
• PS48 高密度電流下におけるカーボンナノチューブの損傷機構に関する研究(フェロー賞対象ポスターセッション)
• 142 高密度電流下におけるカーボンナノチューブ損傷に対する雰囲気環境の影響(材料力学III,一般講演)
• 141 生体内の接触圧力およびせん断応力の同時測定センサの開発(材料力学III,一般講演)
• 106 ツリー構造配線のエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度における配線形状の影響(若手優秀講演フェロー賞対象講演(3))

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク