高分子膜を介した半導体デバイス内部の超音波可視化(技術OS3-1 半導体デバイス,技術OS3 電子・情報機器と材料力学)

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概要

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• 2004-07-20

著者

• 坂 真澄

  東北大

• 燈明 泰成

  東北大

• 燈明 泰成

  東北大学

• 坂 真澄

  東北大学大学院

• 坂 真澄

  東北大学大学院工学研究科

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