J0406-2-2 シリコン構造体に埋没させた円形ナノギャップに対する超音波応答(超音波計測・解析法の新展開(2))
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概要
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This study describes the sensitivity of acoustic microscopy for detecting three-dimensional defects in a Si structure. A number of nanometer height circular gaps with diameters ranging from 5 to 1000 μm were successfully embedded in Si disks by a direct bonding technique, and these were tested with different conditions of acoustic imaging. The sensitivity of gap detection is found to be dependent the three-dimensional features of the embedded defects, their positions, and the intensity of ultrasound applied to the gaps. The acoustical interaction with nanometer gaps is interpreted by a simple mechanical model.
- 2009-09-12
著者
-
坂 真澄
東北大
-
燈明 泰成
東北大
-
燈明 泰成
東北大学
-
坂 真澄
東北大学大学院
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
Saka Masumi
Department Of Machine Intelligence & Systems Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku U
-
アカンダ Md.
東北大
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